其優點是觸發效率高，且可靠，多用于充氣壓較高的氣體燈。但所需觸發功率較大，干擾比較大。按工作方式不同，內觸發又可分為火花隙放電電路及飽和脈沖變壓器電路。

   脈沖燈每次點燃均需加一高壓觸發脈沖。實哈默納科勻光系統諧波CSF-32-120-2UH踐證明，觸發脈沖會大大縮短氖燈壽命，并產生強烈的電磁干擾，泵浦光脈沖時間及幅度會抖動。為此，已廣泛采用“預燃"工作方式。采用預燃方式可避免觸發重復工作的弊病，燈壽命延長，放電脈沖穩定，減少了電磁干擾，泵浦效率提高，在重復率較高的脈沖激光電源中廣泛采用。

   預燃電源電壓約為1一2kV，預燃電流為30一200mA。預燃電壓高，預燃電流大，則預燃較穩定。但限流電阻上功耗大，故在保證預燃穩定前提下，哈默納科勻光系統諧波CSF-32-120-2UH宜選用較小的預燃電壓與電流。

   4.控制電路

   控制電路用于協調上述各部分能正常工作。

   〔三)光學系統

   光學系統是激光加工設備的主要組成部分之一，它由導光系統〔包括折反鏡、分光鏡、光導纖維及禍合元件等)、觀察系統及改善光束性能裝置〔如勻光系統)等部分組成。它的特性直接影響激光加工的性能。在加工系統中，它的作用是: