超聲波加工的精度，除了考慮機床和夾具的精度外，主要應考慮磨料的粒度、工具的材料以及機床的加工方式等因素。

    (1)磨料粒度的影響當采用磨料懸浮液加工時，在工具尺寸確定后，加工出孔的zui小直徑約等于工具直徑加磨粒平均直徑的2倍。采用240#-280#磨粒時，孔的尺寸精度可達士Q. 05mm，采用w28-w7微粉加工時，孔的尺寸精度可達士0.02mm.

    C2)機床加工方式和加工工具的影響當采用旋轉的聚晶金剛石工具在水中直接加工硬脆材料，而不依靠磨料懸浮液作中介物時，由于金剛石材料的鋒利和耐磨，可以使加工精度大為提高。當加工玻璃和釔鋁石榴石時，孔的尺寸精度可達到0. Olmm.

    此外，工具的橫向振動和磨損都會影響孔的尺寸精度和形狀精度。

   表面質量及其影響因素

    超聲波加工具有良好的表面質量，既不會產生表面變質層，也不會產生表面燒傷。

    超聲波加工的表面粗糙度主要受磨粒尺寸、超聲振幅大小和工件材料硬度的影響。一般表面粗糙度R。值可達0.8~0.1。  磨粒尺寸愈小，超聲振幅愈小，工件材料愈硬，生產率隨著降低，表面粗糙度會得到明顯改善。因為在超聲波加工中，表面粗糙度R，值的大小主要取決于每顆磨粒每次錘擊工件材料所留下凹痕的大小與深淺。

    當磨粒的大小、工具的振幅和頻率選用合適時，可利用超聲波進行拋光。